等離子體是物質(zhì)的一種存在狀態(tài)，通常物質(zhì)以固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)三種狀態(tài)存在，但在一些特殊的情況下有第四種狀態(tài)存在，如地球大氣中電離層中的物質(zhì)。等離子體狀態(tài)中存在下列物質(zhì)：處于高速運(yùn)動(dòng)狀態(tài)的電子；處于激活狀態(tài)的中性原子、分子、原子團(tuán)（自由基）；離子化的原子、分子；未反應(yīng)的分子、原子等，但物質(zhì)在總體上仍保持電中性狀態(tài)。

在微電子封裝的生產(chǎn)過程中，由于指印、助焊劑、各種交叉污染、自然氧化等，器件和材料表面會(huì)形成各種沾污，包括有機(jī)物、環(huán)氧樹脂、焊料、金屬鹽等。這些沾污會(huì)明顯地影響封裝生產(chǎn)過程中的相關(guān)工藝質(zhì)量。使用等離子體清洗可以很容易清除掉生產(chǎn)過程中所形成的這些分子水平的污染，保證工件表面原子與即將附著材料的原子之間緊密接觸，從而有效地提高引線鍵合強(qiáng)度，改善芯片粘接質(zhì)量，減少封裝漏氣率，提高元器件的性能、成品率和可靠性。

1.等離子處理設(shè)備原理
等離子體處理設(shè)備由等離子發(fā)生器、氣體輸送系統(tǒng)及等離子噴頭等部分組成。等離子發(fā)生器產(chǎn)生高壓高頻能量在腔體中被電離產(chǎn)生低溫等離子體，借助氣流將低溫等離子體輸送到腔體外，當(dāng)?shù)入x子體與被處理物體表面相遇時(shí)，使材料表面產(chǎn)生了化學(xué)變化和物理作用，其表面分子鏈結(jié)構(gòu)得到了改變，建立了羥基、羧基等自由基團(tuán)，這些基團(tuán)對(duì)材料鍵合具有促進(jìn)其粘合的作用，在封合和表面親水改性應(yīng)用時(shí)得到了優(yōu)化。在同樣效果下，應(yīng)用等離子體處理表面可以得到非常薄的高張力涂層表面，不需其他機(jī)械、化學(xué)處理等任何強(qiáng)烈作用成分來增加粘合性。

2.等離子表面處理優(yōu)點(diǎn)

·不帶電，可以處理各種材料和制品，包括塑料、玻璃、金屬或者帶有電子元件的產(chǎn)品；
·溫度低，適合應(yīng)用于那些表面材料對(duì)溫度敏感的制品；
·不需要箱體，可以直接安裝在生產(chǎn)線上；
·只消耗空氣和電，因此運(yùn)行成本低，操作更安全；
·不產(chǎn)生臭氧，沒有化學(xué)污染物排放，符合環(huán)保規(guī)范的要求。

3.等離子處理機(jī)主要用途
　　①等離子體表面處理：為了提高刀具、模具等的性能，可以用等離子體對(duì)金屬表面進(jìn)行氮、碳、硼或碳氮的滲透。這種方法的特點(diǎn)是,不是在表面加一覆蓋層,而是改變基體表面的材料結(jié)構(gòu)及其性能。等離子處理機(jī)過程中，工件溫度比較低，不使工件變形，這對(duì)精密的部件很重要。這一方法可以應(yīng)用于各種金屬基體，主要有輝光放電滲氮，氮碳共滲，滲硼。
　?、诘入x子體在電子工業(yè)中的應(yīng)用：大規(guī)模集成電路片心的生產(chǎn)工藝，過去采用化學(xué)方式，采用等離子體方法代替之后，不僅降低了工藝過程中的溫度，還因?qū)⑼磕z、顯影、刻蝕、除膠等化學(xué)濕法改為等離子體干法，使工藝更簡單，便于實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化，提高成品率。等離子體方法加工的片心分辨率及保真度都高，對(duì)提高集成度及可靠性均有利。

4.等離子體用于材料表面改性

①改變潤濕性（又稱浸潤性）。一些有機(jī)化合物表面的潤濕性對(duì)顏料、墨、粘結(jié)劑等的粘結(jié)性，對(duì)于材料表面的閃絡(luò)電壓及表面漏泄電流等電性能，都有很大的影響。衡量潤濕性的量稱為接觸角。

②增強(qiáng)粘附性。用等離子體活化氣體處理一些聚合物及金屬之后，可使材料與粘附劑的結(jié)合強(qiáng)度得到加強(qiáng)。原因可以是聚合物表面的交聯(lián)加強(qiáng)了邊界層的粘附力；或是等離子體處理過程中引入了偶極子而提高了聚合物表面粘附強(qiáng)度；也可能是等離子體處理消除了聚合物表面的污層，改善了粘附條件。電暈處理也有同樣效果。

③強(qiáng)化聚合物與聚合物的粘附。例如玻璃絲加強(qiáng)的環(huán)氧樹脂用氦等離子體處理后，與硫化橡膠的粘附增強(qiáng)233%。聚酯輪胎線經(jīng)過等離子體處理(如NH3)后，與橡膠的粘附強(qiáng)度提高8.4倍。

汶顥股份提供常用等離子處理設(shè)備如：PDC-MG等離子清洗機(jī)、Harrick Plasma等離子清洗機(jī)、等離子體處理機(jī)等型號(hào)。