勻膠機(jī)旋涂如何改善旋轉(zhuǎn)涂層?

正確居中的基材

準(zhǔn)確地將基材放在吸盤中心，以實(shí)現(xiàn)涂布一致性減少旋涂過(guò)程中的邊緣堆積。 偏心的基材會(huì)引起振動(dòng)和應(yīng)力，至少會(huì)影響您的涂層質(zhì)量，最壞的情況會(huì)導(dǎo)致基材破碎和旋涂機(jī)損壞。

靜態(tài)分配

大多數(shù)人采用靜態(tài)分配方法進(jìn)行旋涂。這是旋涂最簡(jiǎn)單方法，需要您將化學(xué)物質(zhì)分配到固定的基材上。

汶顥勻膠機(jī)

分配化學(xué)物質(zhì)

使用移液器或注射器將化學(xué)物質(zhì)分配到基材的中心。通常應(yīng)分配材料蓋基材直徑的50%，多余的材料被清除經(jīng)過(guò)速度和加速度實(shí)現(xiàn)旋涂后.當(dāng)材料到達(dá)基板的邊緣時(shí)，進(jìn)步的加速步驟將從晶四上澆鑄多余的材料。

加速至最終旋轉(zhuǎn)速度

最后一步需要您的旋涂機(jī)快速加速到最終旋涂速度，以形成正確厚度的涂層。

去除邊珠

旋涂工藝可能會(huì)在基材邊緣留下材料堆積。最好在您的旋涂機(jī)中，在涂覆過(guò)程結(jié)束后立即去除晶圓上的邊緣珠。涂層固化后，將溶劑流引導(dǎo)至基材邊緣，同時(shí)低速旋轉(zhuǎn)。晶片繼續(xù)旋轉(zhuǎn)，這使所有殘留的溶劑干燥。

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