URE-2000/25 型深度光刻機， 是在 URE-2000A 和 URE-2000B 基礎上開發(fā) 成功的，

其主要特點是： 燈源采用 200W 交流高壓汞燈，曝光波長使用 365nm，曝光面積φ100mm （可擴展為 150mm×150mm） 。曝光系統采用積木錯位蠅眼透鏡實現均勻照明 和平滑衍射效應。 

掩模面的最大照度可達 10mW/cm 2 (用 365nm 探頭測量，曝光面積 φ100mm)，照度可通過曝光系統內部的可變光欄進行調節(jié)。 

對準采用雙目雙視場對準顯微鏡（可添加 CCD 對準系統） ，對準顯微鏡 的有三對目鏡和三對物鏡可以互換，組合后最大倍數為 375 倍。對準物鏡 軸距可在 20mm-63mm 之間變化。在目鏡中可單獨觀察到一個視場的像，也可同時觀測到兩個視場的像。

機器由單片機系統通過主機上控制面板進行操作（如帶 CCD 的對準系 統則通過主計算機進行操作） 。 

工件臺可帶動掩模樣片一起作 X、Y 整體運動（關掉工件臺真空） ，也 可 X、Y 整體運動鎖緊（關掉工件臺真空） 。樣片相對于掩?？勺?nbsp;X、Y、Z、 θ X 、θ Y 、θ Z 六維運動，其中 X、Y、Z、θ Z 通過手輪調節(jié)，θ X 、θ Y 分別通過球 氣浮調節(jié)。共有 2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸四種掩模吸盤。 

系統工作原理及結構：

1.工作原理和設計方案 工作原理和設計方案 

1.1 曝光光學系統 曝光光學系統的功能主要有：平滑衍射效應、實現均勻照明、濾光和冷 光處理、實現強光照明和光強調節(jié)。 

1.1.1 衍射效應平滑方案 按照 Fraunhofer 的衍射理論，寬為 2a 的單縫用波長為λ的光照明，在 離 f 遠處產生的衍射光強分布是：

 I ( x) = sin c 2 ( kxa /f ), k = 2π/ λ 

由于衍射使主峰旁邊還有很多次峰，造成光刻線條質量下降，線條越 細、距離越遠、曝光波長越長，則這一現象越明顯。 

圖 1 不消衍射時在工件上的光強分布                  圖2 采用積木錯位蠅眼透鏡時在工件上的光強分布 

在本設備中采用積木錯位式蠅眼透鏡形成多點光源， 由于采用積木錯位式蠅眼透鏡，保證單根積分棒截面為正方形，從而具有 兩好的加工性和裝配性，同時保證在任意積分棒的結合處只有兩個棱，故 易實現不漏光，此外還保證任意積分棒和周圍的積分棒等距離，對保證照 明均勻性和消衍射效果明顯。從而保證光刻分辨率。 

1.1.2 多點光源實現均勻照明的原理

 系統采用柯拉照明的原理(如圖 4示)， 積分鏡是由多塊蠅眼透鏡拼接而 成，能將能量分布不均勻的寬光束分解為若干細光束，各細光束均按柯拉 原理照明在掩模面上。由于在細光束范圍內能量分布基本上是均勻的，因 而在掩模面上得到均勻照明。由于細光束均疊加在掩模的相同區(qū)域，這就 實現了照明的高能量化 

1.1.3快門控制 

采用旋轉氣缸，通過二位五通電磁閥進行控制。曝光方式采用到計時 定時自動曝光，也可采用定劑量曝光。由于快門位于后焦點處，因此溫度 ，快門葉片采用鏡面不銹鋼。 很高（ 700 0 C 左右） 

1.1.4冷卻措施 

風冷，在曝光頭的后部有一個冷卻風扇，在頂部有通風口。 

1.2對準測量系統 

1.2.1 雙目雙視場對準顯微鏡 采用雙目雙視場合像對準顯微鏡，物鏡和目鏡各配 3 對（最大倍數 375 倍，見圖 5） 。調節(jié)對準物鏡手輪，其軸距可在 20mm-63mm 之間變化。在目 鏡中可單獨觀察到一個視場的像，也可同時觀測到兩個視場的像。對準顯 微鏡通過手輪調節(jié)上下運動實現調焦。物鏡的倍率越大，數值孔徑也越大， 測量精度就高，但視場就小，焦深就短。

     1.2.2 CCD 對準系統 對于要求 CCD 對準的 URE-2000/25 光刻機，其光學系統如圖 6 示，光 學系統總放大倍數為 20 倍，測量視場為 φ 0.35mm 。物鏡的軸距可通過手輪 進行調節(jié)，其軸距可在 20mm-90mm 之間變化。兩套對準系統可以單獨進行 調焦，調焦范圍±1mm。對于薄膠（膠厚小于 5?m） ，通過監(jiān)視器可以同時看 到掩模和硅片對準標記，可直接通過計算機監(jiān)視器，調節(jié)對準工件臺進行 對準。對于厚膠，首先通過 CCD 對掩模標記，并保存圖像，將對準物鏡調 焦至硅片面（膠層下表面） ，可看清硅片面的對準標記，和已保存掩模標記 圖像相對，即可實現厚膠對準。 

URE-2000/25 操作步驟—工作過程： 

1.汞燈位置調節(jié) 

汞燈位置調節(jié) 在換燈后或燈位置變動時會改變照明的均勻性和照明的光強，這時調 節(jié)三維燈座臺，使汞燈球體位于橢球鏡的第一焦點上，這時照明強度最大， 均勻性最好。 

2.開機準備 

（1）.供給機器的電源配電插座應有 220 伏的供電能力，在總電源插頭插 上后，機柜已通電。 

（2）.開啟空氣壓縮機和真空泵，要求：供氣壓力大于 0.4Mpa（表壓）, 真空度高于-0.06Mpa。 

3．開機  正常工作時，先按“汞燈電源”紅色按鈕，啟輝汞燈，如其指示燈亮， 但汞燈未點燃（也屬正常） ，可再按“觸發(fā)”按鈕，將汞燈點燃。汞燈點燃 30 分鐘后才能穩(wěn)定。按下“控制電源”紅色按鈕，控制電源打開，幾秒鐘 后面板上的“復位”鍵指示燈亮，曝光時間顯示默認值“0060.0” ，表明控 制系統工作正常。

4．上片  將樣片放到承片臺上，打開“小硅片”氣動開關(對于 4 寸片，還需打 開“大硅片”)氣動開關，樣片被吸緊，反時針旋轉曝光間隙調節(jié)手輪，使 樣片低于掩模面；將掩模放到掩模吸盤上，按“掩?！卑粹o（指示燈亮） ， 掩模被吸緊。 

5．調平 按“氣浮”按鈕（指示燈亮） ，球氣浮吹氣，順時針旋曝光間隙調節(jié)手 輪直至樣片與掩模貼緊，再按“氣浮”按鈕（指示燈滅） ，球氣浮被鎖緊， 樣片被調平，在球氣浮被鎖緊的過程中掩模和樣片間會分離一定的間隙， 可直接進行對準。

6．曝光時間設定 按下“設定”鍵，指示燈亮，同時曝光時間（或劑量）顯示的百位數 字閃爍，可按“+”“-”鍵對曝光時間的第一位數調整，調整好后，再次 、 按設定（SET）鍵可進行下一位數字調整，當調整完最后一位時，再按“設 定”鍵，退出“時間—劑量”設定，按“時間”或“劑量”鍵，可進行曝 光操作（倒計時或定劑量曝光） 。

曝光過程中，顯示窗顯示曝光狀態(tài)的倒計時。 

7．對準調節(jié) 

7.1 顯微鏡對準 一般來說調平完成被鎖緊后（關“氣浮”，掩模和樣片間存在一定的 ） 間隙，可直接進行對準，但如果調平頂緊的力過大或過小，則調平完成被 鎖緊后，對準間隙可能過大或過小，這種情況下，可旋轉調焦手輪，調節(jié) 出合適的對準間隙—即保證掩模和樣片的對準標記都能成清晰像，且作對 準運動時掩模和樣片不摩擦（掩模和樣片不一起運動） 。 

對準臺分三部分，下層為整體運動臺（樣片和掩模一起作整體運動， 能保證掩模和樣片對準標記進入到顯微鏡的視場內，也可用于增大曝光面 積） ；中心為轉動，調節(jié)旋轉手輪可使承片臺相對掩模旋轉；上層為相對運 動臺，旋轉其手輪，可使掩模相對于樣片作 X、Y 對準運動。對準顯微鏡的 使用見“顯微鏡使用說明書” 。 

7.2 CCD 對準 調平完成后首先分離出合適的對準間隙。 

對于薄膠：其操作基本和顯微鏡對準一樣，所不同的是其觀察是通過 計算機監(jiān)視器。 

對于厚膠：首先移動整體運動臺，掩模對準標記進入到 CCD 對準系統 的測量視場內（最好兩個標記基本都位于 CCD 視場的中心） ，通過計算機采 集掩模對準標記的像并保存。調焦，使樣片對準標記在計算機監(jiān)視器上成 清晰像，調節(jié)對準手輪（作掩模和樣片相對運動 X、Y、θ） ，使樣片對準標 記與保存的掩模對準標記的像相一致。 

8．關機 關機的順序和開機相反，先關掉控制系統電源，再關掉汞燈電源。

9．操作警告 

不要在控制系統工作的情況下啟輝汞燈，以免損壞電氣系統。

操作過程中出現控制紊亂或死機，按面板上“復位”鍵，幾秒鐘后，系統 重新復位。

汞燈要及時更換， 以免出現其他事故。 汞燈的壽命一般為 200-300 小時。 一般說來，如汞燈位置處于最佳狀態(tài)，可變光欄又開到最大位置，而照 明面的光強（365nm）小于 7 mW / cm 2 ，則必須更換汞燈。 

如按下汞燈電源汞燈沒有啟輝，這時按機柜上綠色觸發(fā)鍵來啟輝汞燈， 如多次按下后仍然不能點燃汞燈， 可能環(huán)境溫度太低， 或汞燈壽命已到， 如環(huán)境溫度沒有問題， 更換新燈后， 仍然不能起輝汞燈， 請與廠家聯系。 

操作本機器要盡量避免眼睛對著曝光光源看，也要盡量避免手被曝光光 源照射，否則會對身體造成一定危害。