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微流控芯片模內(nèi)鍵合功能以及鍵合后芯片的無損脫模

微流控芯片的基片與蓋片完成模內(nèi)對準后,模具第二次合模,進入模內(nèi)鍵合階段,需要對芯片施加鍵合壓力。該壓力可以通過注塑機鎖模機構提供,也可以通過獨立的液壓油趕提供。通常,在玻璃轉(zhuǎn)化溫度附近時,聚合物微流控芯片模外鍵合所需的壓力一般只有,但需要保持該壓力長時間作用于芯片之上,否則芯片無法完成鍵合。在芯片模內(nèi)鍵合過程中,注塑機的鎖模機構雖然可以在二次合模后,對芯片提供所需要的鍵合壓力,當壓力達到設定值后,注塑機的鎖模機構會自動由壓力控制切換到位置控制,無法提供持續(xù)、穩(wěn)定的鍵合壓力。因此,本套模具采用獨立的油紅提供芯片鍵合所需的持續(xù)壓力。

完成微流控芯片模內(nèi)鍵合后,采用頂板頂出的方式完成芯片的脫模,可使頂出力均勻的作用在芯片上,減少因頂出力不均造成的芯片變形。然而,注塑機的頂出功能在一次注塑循環(huán)過程中只能使用一次。在第一開模后,注塑機的頂出機構已經(jīng)用于主流道凝料的頂出,無法再用于鍵合后芯片的脫模。為了實現(xiàn)芯片的順利脫模,再增加一個獨立的油紅,用于鍵合后芯片的脫模。

通過上述分析可知,將基片與蓋片的成型、對準及鍵合工藝集成于一套模具的微流控芯片注射成型及模內(nèi)鍵合工藝方案是可以實現(xiàn)的,但需要注塑成型機具備二次合模的功能,并配備三組液壓抽芯,分別用于驅(qū)動動模板的上下滑移、提供芯片鍵合所需的持續(xù)壓力以及鍵合后芯片的脫模。微流控芯片注射成型及模內(nèi)鍵合工藝方案如圖所示。芯片的基片和蓋片在同一套注塑模具內(nèi)成型后,通過動模板的上下滑移實現(xiàn)基片和蓋片對準;在成型模溫的基礎上,將芯片快速加熱至鍵合溫度,利用模具上集成的油虹對芯片施加持續(xù)的鍵合壓力;保溫保壓一段時間后,開模、冷卻,頂出芯片,獲得具有封閉微通道網(wǎng)絡的聚合物微流控芯片。微流控芯片模內(nèi)鍵合技術,釆用注射成型的方法制備了芯片的基片和蓋片,成型周期不到并直接在模具內(nèi)完成基片和蓋片的對準和鍵合,省卻了芯片的冷卻、鉆孔、清洗、干燥、退火處理和再次加熱升溫等諸多工序,有效地縮短了聚合物微流控芯片的制備周期,提高了芯片鍵合的成功率,使聚合物微流控芯片低成本、大批量和快速生產(chǎn)成為可能,加速聚合物微流控芯片的商業(yè)化進程。

微流控芯片鍵合.jpg


標簽:   微流控芯片 鍵合
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