產(chǎn)品名稱：

中國光電URE-2000S/25型光刻機

技術參數(shù)：

1、曝光面積：100 mm×100mm（可升級為150 mm×150mm）

2、分辨力：1.2μm（膠厚2μm的正膠）

3、對準精度：±3μm（雙面，片厚0.8μm），±0.8μm（單面）

4、掩模尺寸：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸

5、樣片尺寸：直徑f30mm--f100mm（f30mm--f150mm）

                    厚度0.1mm--3mm(雙面)，0.1mm--6mm(單面)

6、照明均勻性：±4%（f100mm范圍） ±7%（f150 mm范圍）

7、掩模相對于樣片運動行程：X:±5mm;   Y:±5mm;q:±6度

8、汞燈功率：350W（直流）

9、曝光方式：定時（倒計時方式）

外形尺寸：

1300mm（長）?900mm(寬)?1800mm（高）

配置：

（1）曝光頭

1、冷光橢球鏡

2、350 W進口直流高壓汞燈(德國歐司朗)  lXYZ汞燈調(diào)節(jié)臺

3、光學系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門、準直鏡鏡1、準直鏡鏡2、蠅眼透鏡組（77個透鏡）、i線濾光片、場鏡1、場鏡2、冷光反射鏡1、反射鏡2

4、卻風扇

（2）對準工件臺

1、模樣片相對運動臺

2、轉(zhuǎn)動臺

3、樣片調(diào)平機構(gòu),自動完成

4、樣片調(diào)焦機構(gòu)，氣缸自動調(diào)

5、承片臺3個（2英寸、3英寸、4英寸）

6、掩模夾4個（2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸）

7、掩模抽拉式上下機構(gòu)

（3）雙目雙視場對準顯微鏡（可以選擇帶CCD型，目鏡和監(jiān)視器可同時觀測）

1、光源、電源

2、雙目雙視場對準顯微鏡主體

3、目鏡3對（10倍、16倍、20倍，共6個）

4、物鏡3對（4倍、10倍、20倍，共6個）

5、CCD光學系統(tǒng)（選配件）

6、XYZ底面對準工件臺

（4）底面CCD對準系統(tǒng)

1、光源、電源

2、成像光學系統(tǒng)

3、數(shù)據(jù)采集卡 

4、CCD

（5）電控系統(tǒng)

1、汞燈觸發(fā)電源(350W直流汞燈)

2、單片機控制系統(tǒng)

3、控制柜桌

4、計算機系統(tǒng)（21英寸寬屏液晶顯示器）

（6）氣動系統(tǒng)

1、氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關等

2、電磁閥驅(qū)動

3、氣動儀表

（7）其他附件

1、真空泵一臺

2、空壓機一臺 

3、管道

（8）技術資料

1、使用維修說明書   

2、顯微鏡使用說明書