目前，微機械加工、軟光刻、注塑、激光燒蝕、3D打印等微流體裝置制造技術種類繁多。微流控制加工技術具有多功能結構和勞動密集型，可用生物材料有限。在實際應用中，由于功能和試驗環(huán)境的要求，微流控制裝置的設計和制造方法面臨著挑戰(zhàn)。軟光刻是制造生物醫(yī)學微流體裝置最常用的方法。

對于實驗分析的小規(guī)模、小批量要求，軟光刻和多步加工工藝是當前的黃金標準。通過多層軟光刻復制成型工藝，如圖1所示，該裝置由兩層PDMS層組成，PC膜作為氣體擴散屏障，微流體通道由PDMS膜隔開。制造工藝為：采用傳統(tǒng)光刻工藝在硅晶片上圖案化負光刻膠制作母板，混合堿和固化劑制作PDMS基板，硅烷化硅晶片頂部旋轉PDMS基板制作PDMS膜，采用穿孔器制作進出孔，氧等離子體表面處理，放入烘箱，提高芯片部件的粘結度和兼容性，各部件連接組裝。制造過程復雜，需要深入的專業(yè)知識和培訓，多層芯片的鍵合需要高通道粘合精度和經驗。

垂直化學梯度和氧梯度PDMS微流體裝置制造工藝示意圖。

微流量控制芯片的制造技術需要合的材料相匹配。雖然3D打印技術制造具有設計制造簡單、成本低的優(yōu)點，可以快速完成復雜的微流控制空間結構，但由于材料的限制，無法完成。

進行體外細胞培養(yǎng)和研究。

Chen等提出了一種3D打印微流量控制芯片，可以組合四種抗癌藥物，藥物溶液在通道中混合，然后收集配置好的藥物溶液，注入傳統(tǒng)的96孔板進行細胞毒性分析。因此，復雜芯片通道網絡的制造和生物醫(yī)學細胞水平的研究需要加工技術和材料的同步協(xié)調發(fā)展，并選擇合適的加工方法對微流量控制裝置的不同部件進行組裝。